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产品型号：SuperViewW1
产品代码：
产品价格：
计量单位：台
折 扣 率： 0
最后更新：2025-03-12
关 注 度：3108
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
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产品详细介绍中图仪器SuperViewW白光干涉光学3D轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。它具有测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时短，确保了高款率检测。
白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。
产品特点
1、干涉物镜
不通倍率的镜头，适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。
2、双通道气浮隔振系统
外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统，可有效隔离地面传导的振动噪声。
3、声波隔振防护
仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计，有效隔离了声波振动的传导。
4、水平调整装置
倾斜调整旋钮，调整条纹宽度，提高3D图像的重建精度。
5、便携式操纵杆
采用人体工程学设计，集成了XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制，并配有紧急停止按钮。
6、真空吸附台
专为半导体晶圆片定制的真空吸附台，确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影像。
7、3D重建算法
自动滤除样品表面噪点，在硬件系统的配合下，测量精度可达亚纳米级别。
自研3D显微测量软件平台Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主开发的第二代显微3D测量软件平台，集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能模块，能够适配中图W系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型，可自主识别机型种类，二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。
Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验，重构了显微影像测量功能，可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。
自动化mark点识别坐标定位自动化功能
Mark点影像识别自动坐标位置校正，多区域坐标点自动定位测量与分析，可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。
自动拼接功能
SuperViewW白光干涉光学3D轮廓仪支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量。
应用领域图片
SuperViewW白光干涉光学3D轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。
如有疑问或需要更多详细信息，请随时联系中图仪器咨询。 |
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