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X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-纳动纳米
产品型号:PK3L140-100U
产品代码:
产品价格:1000
计量单位:021-54668263
折 扣 率: 0
最后更新:2022-04-29
关 注 度:3299
生产企业:上海纳动纳米位移技术有限公司
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产品详细介绍产品描述
PK3L140-100U为高动态扫描产品,专为大承载动态应用设计的,外形设计为超薄型,紧凑的尺寸便于安装在显微镜下,可与电动微米平台进行配合使用,移动面设计为可以放置样品、CCD相机、显微物镜等,便于用户微纳操作。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命,PK3L140-100U位移台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率,可实现高精度和快速的闭环响应。
本产品具有亚纳米性能。PK3L140-100U压电纳米台均可提供闭环反馈(-S)或开环(无反馈)。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出,直接实现亚纳米分辨率,线性误差低于0.02%的精度和重复性。
PK3L140-100U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。独特的固定孔位设置,可对外界冲击震动及温度变化不敏感,具有非常高的稳定性能。
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制中心孔径大小
应用领域
—原子力/扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—二维材料微纳加工技术
上海纳动纳米位移技术有限公司
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会员级别:免费会员
加入时间:2016-05-16
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