产品详细介绍高温真空探针台KT-Z1604TZ
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-196℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
 
高低温真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
高温真空探针台技术参数
高温真空探针台KT-Z1604TZ参数
 
真空腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
304不锈钢
内腔体尺寸
φ160x90mm
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温度
﹣196~350℃
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
探针数量
4探针
探针材质
钨针  
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm    ±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm    ±12.5mm
Y轴控制精度
≤0.01mm
Z轴移动行程
13mm    ±12.5mm
Z轴控制精度
≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别
物镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony 高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
8寸
放大倍数
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
 
高温真空探针台使用说明
 
高温真空探针台采购须知
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| 加入时间：2024-06-12
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